1.1土壤濕度
土壤濕度，即表示一定深度土層的土壤干濕度程度的物理量，又稱土壤水分含量。土壤濕度的高低受農(nóng)田水分平衡各個(gè)分量的制約。
1.2土壤濕度傳感器
土壤濕度傳感器又名土壤水分傳感器，土壤含水量傳感器。土壤水分傳感器由不銹鋼探針和防水探頭構(gòu)成，可長(zhǎng)期埋設(shè)于土壤和堤壩內(nèi)使用，對(duì)表層和深層土壤進(jìn)行墑情的定點(diǎn)監(jiān)測(cè)和在線測(cè)量。與數(shù)據(jù)采集器配合使用，可作為水分定點(diǎn)監(jiān)測(cè)或移動(dòng)測(cè)量的工具測(cè)量土壤容積含水量，主要用于土壤墑情檢測(cè)以及農(nóng)業(yè)灌溉和林業(yè)防護(hù)。
1.3 土壤濕度表示方法
土壤濕度，即土壤的實(shí)際含水量，可用土壤含水量占烘干土重的百分?jǐn)?shù)表示：土壤含水量=水分重/烘干土重×100％。也可以相當(dāng)于土壤含水量與田間持水量的百分比，或相對(duì)于飽和水量的百分比等相對(duì)含水量表示。
根據(jù)土壤的相對(duì)濕度可以知道，土壤含水的程度，還能保持多少水量，在灌溉上有參考價(jià)值。土壤濕度大小影響田間氣候，土壤通氣性和養(yǎng)分分解，是土壤微生物活動(dòng)和農(nóng)作物生長(zhǎng)發(fā)育的重要條件之一。
土壤濕度受大氣、土質(zhì)、植被等條件的影響。在野外判斷土壤濕度通常用手來(lái)鑒別，一般分為四級(jí)：（1）濕，用手?jǐn)D壓時(shí)水能從土壤中流出；（2）潮，放在手上留下濕的痕跡可搓成土球或條，但無(wú)水流出；（3）潤(rùn)，放在手上有涼潤(rùn)感覺，用手壓稍留下印痕；（4）干，放在手上無(wú)涼快感覺，粘土成為硬塊。
農(nóng)業(yè)氣象上土壤濕度常采用下列方法與單位表示：
①重量百分?jǐn)?shù)。即土壤水的重量占其干土重的百分?jǐn)?shù)(％)。此法應(yīng)用普遍，但土壤類型不同，相同的土壤濕度其土壤水分的有效性不同，不便于在不同土壤間進(jìn)行比較。
②田間持水量百分?jǐn)?shù)。即土壤濕度占該類土壤田間持水量的百分?jǐn)?shù)(％)。利于在不同土壤間進(jìn)行比較，但不能給出具體水量的概念。
③土壤水分貯存量。指一定深度的土層中含水的數(shù)量，通常以毫米為單位，便于與降水量、蒸發(fā)量比較。土壤水分貯存量W（毫米）的計(jì)算公式為:W＝0.1·h·d·w。式中h是土層厚度，d為土壤容重（克／厘米3）,0.1是單位換算系數(shù)，w為土壤濕度（重量百分?jǐn)?shù)）。
④土壤水勢(shì)或水分勢(shì)是用能量表示的土壤水分含量。其單位為大氣壓或焦／克。為了方便使用，可取數(shù)值的普通對(duì)數(shù)，縮寫符號(hào)為pF，稱為土壤水的pF值。
1.4 土壤濕度測(cè)量方法
土壤既是一種非均質(zhì)的、多相的、分散的、顆粒化的多孔系統(tǒng)，又是一個(gè)由惰性固體、活性固體、溶質(zhì)、氣體以及水組成的多元復(fù)合系統(tǒng)，其物理特性非常復(fù)雜，并且空間變異性非常大，這就造成了土壤水分測(cè)量的難度。土壤水分測(cè)量方法的深入研究，需要一系列與其相關(guān)的基礎(chǔ)理論支持，尤其是土壤作為一種非均一性多孔吸水介質(zhì)對(duì)其含水量測(cè)量方法的研究涉及到應(yīng)用數(shù)學(xué)、土壤物理、介質(zhì)物理、電磁場(chǎng)理論和微波技術(shù)等多種學(xué)科的并行交叉。而要實(shí)現(xiàn)土壤水分的快速測(cè)量又要考慮到實(shí)時(shí)性要求，這更增加了其技術(shù)難度。
土壤的特性決定了在測(cè)量土壤含水量時(shí)，必須充分考慮到土壤容重、土壤質(zhì)地、土壤結(jié)構(gòu)、土壤化學(xué)組成、土壤含鹽量等基本物理化學(xué)特性及變化規(guī)律。
①重量法。取土樣烘干，稱量其干土重和含水重加以計(jì)算。
②電阻法。使用電阻式土壤濕度測(cè)定儀測(cè)定。根據(jù)土壤溶液的電導(dǎo)性與土壤水分含量的關(guān)系測(cè)定土壤濕度。
③負(fù)壓計(jì)法。使用負(fù)壓計(jì)測(cè)定。當(dāng)未飽和土壤吸水力與器內(nèi)的負(fù)壓力平衡時(shí)，壓力表所示的負(fù)壓力即為土壤吸水力，再據(jù)以求算土壤含水量。
④中子法。使用中子探測(cè)器加以測(cè)定。中子源放出的快中子在土壤中的慢化能力與土壤含水量有關(guān)，借助事先標(biāo)定，便可求出土壤含水量。
⑤遙感法。通過對(duì)低空或衛(wèi)星紅外遙感圖象的判讀，確定較大范圍內(nèi)地表的土壤濕度。
2土壤濕度傳感器概述
2.1土壤濕度傳感器分類
經(jīng)過半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展，土壤濕度傳感器已經(jīng)種類繁多、形式多樣。濕度的測(cè)量具有一定的復(fù)雜性，人們熟知的毛發(fā)濕度計(jì)、干濕球濕度計(jì)等已不能滿足現(xiàn)代要求的實(shí)際需要。因此，人們研制了各種土壤濕度傳感器。濕度傳感器按照其測(cè)量的原理，一般可分為電容型、電阻型、離子敏型、光強(qiáng)型、聲表面波型等。
電容型土壤濕度傳感器
電容型土壤濕度傳感器的敏感元件為濕敏電容，主要材料一般為金屬氧化物、高分子聚合物。這些材料對(duì)水分子有較強(qiáng)的吸附能力，吸附水分的多少隨環(huán)境濕度的變化而變化。由于水分子有較大的電偶極矩，吸水后材料的電容率發(fā)生變化，電容器的電容值也就發(fā)生變化。把電容值的變化轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)，就可以對(duì)濕度進(jìn)行監(jiān)測(cè)。濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的，當(dāng)環(huán)境濕度發(fā)生改變時(shí)，濕敏電容的介電常數(shù)發(fā)生變化，使其電容量也發(fā)生變化，其電容變化量與相對(duì)濕度成正比，利用這一特性即可測(cè)量濕度。常用的電容型土壤濕度傳感器的感濕介質(zhì)主要有：多孔硅、聚酞亞胺，此外還有聚砜(PSF)、聚苯乙烯(PS)、PMMA(線性、交聯(lián)、等離子聚合)。
為了獲得良好的感濕性能，希望電容型土壤濕度傳感器的兩級(jí)越接近、作用面積和感濕介質(zhì)的介電常數(shù)變化越大越好，所以通常采用三明治型結(jié)構(gòu)的電容土壤濕度傳感器。它的優(yōu)勢(shì)在于可以使電容型土壤濕度傳感器的兩級(jí)較接近，從而提高電容型土壤濕度傳感器的靈敏度。
圖1為常見的電容型土壤濕度傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。交叉指狀的鋁條構(gòu)成了電容器的兩個(gè)電極，每個(gè)電極有若干鋁條，每條鋁條長(zhǎng)400µm，寬8µm，鋁條間有一定的間距。鋁條及鋁條間的空隙都暴露在空氣中，這使得空氣充當(dāng)電容器的電介質(zhì)。由于空氣的介電常數(shù)隨空氣相對(duì)濕度的變化而變化，電容器的電容值隨之變化，因而該電容器可用作濕度傳感器。多晶硅的作用是制造加熱電阻，該電阻工作時(shí)可以利用熱效應(yīng)排除沾在濕度傳感器表面的可揮發(fā)性物質(zhì)。
電容型土壤濕度傳感器在測(cè)量過程中，就相當(dāng)于一個(gè)微小電容，對(duì)于電容的測(cè)量，主要涉及到兩個(gè)參數(shù)，即電容值C和品質(zhì)參數(shù)Q。土壤濕度傳感器并不是一個(gè)純電容，它的等效形式如圖11.3虛線部分所示，相當(dāng)于一個(gè)電容和一個(gè)電阻的并聯(lián)。
2.電阻型土壤濕度傳感器
電阻型土壤濕度傳感器的敏感元件為濕敏電阻，其主要的材料一般為電介質(zhì)、半導(dǎo)體、多孔陶瓷等。這些材料對(duì)水的吸附較強(qiáng)，吸附水分后電阻率／電導(dǎo)率會(huì)隨濕度的變化而變化，這樣濕度的變化可導(dǎo)致濕敏電阻阻值的變化，電阻值的變化就可以轉(zhuǎn)化為需要的電信號(hào)。例如，氯化鋰的水溶液在基板上形成薄膜，隨著空氣中水蒸氣含量的增減，薄膜吸濕脫濕，溶液中的鹽的濃度減小、增大，電阻率隨之增大、減小，兩級(jí)間電阻也就增大、減小。又如多孔陶瓷濕敏電阻，陶瓷本身是由許多小晶顆粒構(gòu)成的，其中的氣孔多與外界相通，通過毛孔可以吸附水分子，引起離子濃度的變化，從而導(dǎo)致兩極間的電阻變化。
濕敏電阻的特點(diǎn)是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜，當(dāng)空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時(shí)，元件的電阻率和電阻值發(fā)生變化，利用這一特性即可測(cè)量濕度。
電阻型土壤濕度傳感器可分為兩類：電子導(dǎo)電型和離子導(dǎo)電型。電子導(dǎo)電型土壤濕度傳感器也稱為“濃縮型土壤濕度傳感器”，它通過將導(dǎo)電體粉末分散于膨脹性吸濕高分子中制成濕敏膜。隨濕度變化，膜發(fā)生膨脹或收縮，從而使導(dǎo)電粉末間距變化，電阻隨之改變。但是這類傳感器長(zhǎng)期穩(wěn)定性差，且難以實(shí)現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)，所以應(yīng)用較少。離子導(dǎo)電型土壤濕度傳感器，它是高分子濕敏膜吸濕后，在水分子作用下，離子相互作用減弱，遷移率增加，同時(shí)吸附的水分子電離使離子載體增多，膜電導(dǎo)隨濕度增加而增加，由電導(dǎo)的變化可測(cè)知環(huán)境濕度，這類傳感器應(yīng)用較多。在電阻型土壤濕度傳感器中通過使用小尺寸傳感器和高阻值的電阻薄膜，可以改善電流的靜態(tài)損耗。
電阻型土壤濕度傳感器結(jié)構(gòu)模型示意圖如圖11.4所示。會(huì)屬層1作為連續(xù)的電極，它與另一個(gè)電極是隔開的。活性物質(zhì)被淀積在薄膜上，用來(lái)作為兩個(gè)電極之間的連接，并且這個(gè)連接是通過感濕傳感層的，濕敏薄膜則直接暴露在空氣中，在金屬層2上挖去一定的區(qū)域直到金屬層1，用這些區(qū)域作為傳感區(qū)。金屬層和金屬層2只是作為電極，它們之問是沒有直接接觸的。整個(gè)傳感器是山許多這樣的小單元組成的。根據(jù)傳感器所需的電阻值的不同，小單元的數(shù)目是可以調(diào)節(jié)的。因?yàn)閮蓚€(gè)電極之問的連接只能在每個(gè)小單元中確定，所以整個(gè)傳感器的構(gòu)造可以看成是一系列的平行電阻。
圖4 電阻型土壤濕度傳感器結(jié)構(gòu)示意圖
根據(jù)高分子薄膜電阻型濕度傳感器的物理結(jié)構(gòu)及高分子材料的感濕機(jī)理，可將電阻型濕敏元件的電路等效為一個(gè)電阻和電容并聯(lián)或串聯(lián)的模型，如圖11.5所示。
圖5 電阻型土壤濕度傳感器簡(jiǎn)化電路和等效電路圖
實(shí)際上，圖11.5中的兩種等效方法是一致的，不同的是，采用右圖可以直接得到傳感器阻抗的實(shí)部和虛部，即傳感器的電阻與電容分量，其等效轉(zhuǎn)化如下：
圖片6 轉(zhuǎn)化公式
式中，R0和C0分別是濕度傳感器等效成串聯(lián)模型時(shí)的電阻分量和電容分量；Z0是串聯(lián)模型時(shí)的復(fù)阻抗； Z0為復(fù)阻抗的模。
3.離子型土壤濕度傳感器
離子敏場(chǎng)效應(yīng)晶體管(ISFET)屬于半導(dǎo)體生物傳感器，是上個(gè)世紀(jì)七十年代由P．Bergeld發(fā)明的。ISFET通過柵極上不同敏感薄膜材料直接與被測(cè)溶液中離子緩沖溶液接觸，進(jìn)而可以測(cè)出溶液中的離子濃度。
離子敏型土壤濕度傳感器結(jié)構(gòu)模型示意圖如圖11.6所示。離子敏感器件由。離子選擇膜(敏感膜)和轉(zhuǎn)換器兩部分組成，敏感膜用以識(shí)別離子的種類和濃度，轉(zhuǎn)換器則將敏感膜感知的信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。離子敏場(chǎng)效應(yīng)管在絕緣柵上制作一層敏感膜，不同的敏感膜所檢測(cè)的離子種類也不同，從而具有離子選擇性。
圖7離子型土壤濕度傳感器結(jié)構(gòu)示意圖
離子敏場(chǎng)效應(yīng)管(ISFET)兼有電化學(xué)與MOSFET的雙重特性，與傳統(tǒng)的離子選擇性電極(ISE)相比，ISFET具有體積小、靈敏、響應(yīng)快、無(wú)標(biāo)記、檢測(cè)方便、容易集成化與批量生產(chǎn)的特點(diǎn)。但是，離子敏場(chǎng)效應(yīng)管(ISFET)與普通的MOSFET相似，只是將MOSFET柵極的多晶硅層移去，用濕敏材料所代替。當(dāng)濕度發(fā)生變化時(shí)，柵極的兩個(gè)金屬電極之間的電勢(shì)會(huì)發(fā)生變化，柵極上濕敏材料的介電常數(shù)的變化將會(huì)影響通過非導(dǎo)電物質(zhì)的電荷流。
因此，ISFET在生命科學(xué)研究、生物醫(yī)學(xué)工程、醫(yī)療保健、食品加工、環(huán)境檢測(cè)等領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景。
2.2 三種土壤濕度傳感器的分析比較
通過對(duì)三種土壤濕度傳感器的研究可知：電容型土壤濕度傳感器是由交叉指狀鋁條構(gòu)成電容器的電極，利用空氣充當(dāng)電容器的電介質(zhì)，隨空氣相對(duì)濕度的變化其介電常數(shù)發(fā)生變化，電容器的電容值也將隨之變化，所以該電容器可用作土壤濕度傳感器；
電阻型土壤濕度傳感器是由通過感濕傳感層的兩個(gè)電極構(gòu)成的許多小單元組成，利用小單元的數(shù)目改變，使電阻值發(fā)生變化，所以可用作土壤濕度傳感器；
離子敏型土壤濕度傳感器由敏感膜和轉(zhuǎn)換器兩部分組成，利用敏感膜來(lái)識(shí)別離子的種類和濃度，轉(zhuǎn)換器則將敏感膜感知的信息轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，因此也可作為土壤濕度傳感器。
同時(shí)根據(jù)對(duì)三種不同類型的土壤濕度傳感器結(jié)構(gòu)示意圖研究發(fā)現(xiàn)：由于多孔硅與CMOS工藝不兼容，并且多孔硅制備的工藝條件及后處理、孔隙及孔徑大小的控制很困難，同時(shí)多孔硅的感濕機(jī)理比較復(fù)雜，因此CMOS濕度傳感器的主要感濕介質(zhì)以聚酞亞胺為主。聚酞亞胺類的傳感器可與CMOS工藝兼容，成本也較低，并且無(wú)需高溫加工和加熱清潔，它對(duì)濕度的感應(yīng)不像多孔陶瓷易受污染。而若用CMOS工藝生產(chǎn)電阻型濕度傳感器和離子敏型濕度傳感器，它們需要改動(dòng)較多CMOS的工藝。例如：改變生產(chǎn)過程的先后順序，使用新的掩膜板等，這些都會(huì)耗費(fèi)大量的流片資金；并且與標(biāo)準(zhǔn)的CMOS工藝相比，工藝較不成熟，增加了流片的風(fēng)險(xiǎn)性；同時(shí)它們存在著難與外圍電子封裝在一起的困難。
另外，電容型濕度傳感器(CHS)由于感應(yīng)相對(duì)濕度范圍大，并且結(jié)構(gòu)與等效形式較簡(jiǎn)單，生產(chǎn)過程較容易，因此對(duì)它的研究受到了廣泛重視。以梳狀鋁電極結(jié)構(gòu)的聚酞亞胺作為電容型土壤濕度傳感器的感濕介質(zhì)的優(yōu)點(diǎn)主要是可與CMOS工藝相兼容，可利用成熟的標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝來(lái)加工，且加工工藝較簡(jiǎn)單，所以能夠把更多的器件(敏感器件或外圍的電路器件)集成在同一塊芯片上或封裝在一起，使土壤濕度傳感器具有更好的性能或更多的功能。同時(shí)有利于使土壤濕度傳感器向小型化、集成化、成本低、功能全面等好的方向發(fā)展。
